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发布日期:2022-12-14
超工作净台怎么校准,超工作净台仪器校准流程

超工作净台仪器校准流程

超工作净台怎么校准_超工作净台仪器校准步骤

1、泄漏校准方法

使用多分散DOP气溶胶(冷烟)发生器有效DOP气溶胶(冷烟)被送到空气过滤器的上侧。该装置的泄漏取样器位于HEPA过滤器出口的下游侧。在2、5cm处进行扫描,采样时间为47、2x10-5M3/s[83L/min],下游浓度为5cm时检测速度小于5cm/s。当上游浓度比大于0、01%时,认为有明显泄漏。应该堵住漏洞。

2、操作区域清洁度的验证方法

尽可能大(47、2×10-5 m3/s[23、3 l/min]尘埃粒子计数器也可以使用小的流动尘埃粒子。副柜台,但经营区域内的抽样数量不应少于1L。稳定的浓度,并位于主过滤器或整流栅的出口处。250m(立式层流洁净工作台)平行截面中心面中心250mm连续测试5次,取平均值。

3、风速验证方法

便携式热球风速计或便携式热敏电阻。对恒温风速计进行了测试。主过滤器或扩散器下游10cm平面的区域应分成12个相等的部分。每个区域的中心点是风速测量点(见图1)。每个测试点之间的距离不应大于25厘米。从每个测试点的风速计算出风的横截面的算术平均值。

4、噪声验证方法

洁净工作台的噪声测试点应放在工作台的中央。从前缘20cm算起,身高110cm,相当于操作员。坐在耳朵的位置。声级计附近1米范围内不应有人。他条件反射。噪音应符合段落1 (4)的要求。

5、振动验证方法

振动频率为2 Hz ~ 500 Hz,位移为0。LPM~1、5mm,加速度0、01g的振动分析~将拾振器放在工作面的几何中心,测量X、Y、z三个轴的总振幅。

6、照明验证方法

测量点布置在洁净工作台的横向中心线上,并均匀分布。设置三个点,用照度计测量,取算术平均值作为超级清洁剂。桌子的照明。

以上就是超工作净台仪器校准步骤,有需求的朋友不妨联系深圳精宇航检测

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